بیضی نگاری – Ellipsometry

بیضی نگاری(Ellipsometry) یک تکنیک نوری غیر تخریبی توانمند است که مشخصه های نور انعکاسی (انتقالی) از یک نمونه مورد مطالعه را معیین می کند. این روش اندازه گیری دارای کاربرد های مختلفی در بررسی لایه های نازک، خواص اپتیکی سطوح و فصل مشترک مواد می باشد. ضریب شکست، ضریب میرایی، ضریب جذب، توابع دی الکتریک، ضخامت، یکنواختی سطح، مورفولوژی، کیفیت کریستال، ترکیب شیمیایی و هدایت الکتریکی مواد با این روش قابل بررسی می باشند.

توضیحات بیشتر »